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  • Chiller
    Chiller

    Chiller主要用于半導(dǎo)體制程中對(duì)多路反應(yīng)腔室的精準(zhǔn)控溫,裝置由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成,采用先進(jìn)的控制算法,提高了chiller的穩(wěn)定性、控溫精度和反應(yīng)速度。在帶負(fù)載的情況下控溫精度可達(dá)±0.5℃,可在-20℃~85℃之間任意控溫,有良好的溫度穩(wěn)定性。

    更新時(shí)間:2024-11-09型號(hào):瀏覽量:479
  • 半導(dǎo)體溫控設(shè)備Chiller
    半導(dǎo)體溫控設(shè)備Chiller

    半導(dǎo)體溫控設(shè)備Chiller由制冷,加熱單元,循環(huán),控制系統(tǒng)組成,全密封結(jié)構(gòu)對(duì)環(huán)境友好,產(chǎn)品系統(tǒng)多,控溫范圍廣,智能化控制軟件,加熱制冷速度快。

    更新時(shí)間:2024-11-09型號(hào):瀏覽量:3296
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